ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 HR60

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 HR60

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。

通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以

氣態(tài)排出。

長(zhǎng)處

可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安裝了氦氣密封

屏蔽電機(jī)，因此具有密封結(jié)構(gòu)，因此非常安全。

瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要

部件采用特殊的表面處理，以高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性為標(biāo)準(zhǔn)。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過(guò)使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用

CVD 設(shè)備

蝕刻設(shè)備

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專(zhuān)注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。