干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎設計的，面向一般產業(yè)設計的簡單結構的泵。
GR60
GR90
GR180
可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續(xù)使用。 適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。 感應電機可通用 可以安裝防爆電機等特殊電機（可選） 采用多電壓兼容電機特點
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣 各種成膜設備放入取出室的真空排氣 真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業(yè) 真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充用途
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。 GR60 GR90A GR180規(guī)格
型號 GR60A GR90A GR180A *排氣速度 50Hz m3/h(L/min) 62(1030) 112( ) 60Hz m3/h(L/min) 80(1333) 126(2100) 237(3850) 極限壓力 *1 Pa 5.0 *排氣壓力（吸入圧力） 大氣壓 *排氣口壓力（排出圧力） Pa 1.0 ~ 大氣壓 吸氣口 VG50 VG80 排氣口 NW40 DRP表面處理 〇 電機 輸出 [kW] 2.2 3.7 7.5 電壓 [V] 50Hz 200~240/380~415 60Hz 200~240/380~460 質量 kg 128 188 268 冷卻方式 冷卻水
一次供給壓力MPa 0.1~0.3 冷卻水
出入口壓差MPa >0.1 冷卻水溫度 ℃ 10~30 *2 冷卻水流量 L/min >5.0 氮氣 一次側
供給圧力MPa 0.1~0.5 二次側
調整圧力 *3MPa 0.05 to 0.1 (運作時) 軸 SLM 5.0 *4
*2 不結露。
*3 通過調節(jié)器調節(jié)壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。配件
型號 材質 表面處理 重量(kg) 法蘭接口 GR60A GR90A GR180A 消音器 RS-01+
套件ASUS304 GBB處理 4.1 KF40 〇 〇 - RS-01+
套件CSUS304 GBB處理 8.3 KF40 - - 〇 排氣速度曲線
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