凈化電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求 第三方檢測(cè)-CMA--安衡檢測(cè)

一、檢測(cè)項(xiàng)目：懸浮粒子數(shù)、浮游菌、沉降菌、溫度、相對(duì)濕度、風(fēng)速、風(fēng)量、噪聲、照度、靜壓差、高效過(guò)濾器檢漏、自凈時(shí)間、換氣次數(shù)

空氣浮游菌：1.除受潔凈區(qū)設(shè)備限制外，取樣點(diǎn)應(yīng)在整個(gè)潔凈區(qū)均勻布置；2.在日常監(jiān)控時(shí)，那些與產(chǎn)品相鄰的區(qū)域，以及可能與產(chǎn)品直接接觸的空氣及設(shè)備附近均應(yīng)考慮增加取樣點(diǎn)和取樣次數(shù)（與產(chǎn)品非接觸區(qū)相比，這些區(qū)域應(yīng)視為關(guān)鍵區(qū)）；人員活動(dòng)頻繁或人員集中的區(qū)域也應(yīng)被視為關(guān)鍵區(qū)，需加強(qiáng)監(jiān)控。3.取樣點(diǎn)一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺(tái)的高度。4.取樣時(shí)，取樣設(shè)備會(huì)對(duì)氣流產(chǎn)生干擾，因此，動(dòng)態(tài)測(cè)試空氣浮游菌取樣時(shí)應(yīng)避免可能對(duì)氣流組織的干擾。5.應(yīng)根據(jù)被測(cè)區(qū)域的浮游菌控制限度和取樣方式確定采樣量，每一個(gè)點(diǎn)一般采樣一次。6.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣，而且測(cè)試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)，盡量少走動(dòng)。

電子廠潔凈室潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目及要求  2.溫濕度需求：溫度通常為24 2 度 ，相對(duì)濕度為55 5%； 3.送風(fēng)量大。為了滿意無(wú)塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風(fēng)量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。每個(gè)行業(yè)對(duì)于潔凈室的要求都不同，良好的車間環(huán)境對(duì)于東西的生產(chǎn)及員工的健康都起著特別大的作用。

電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。

監(jiān)測(cè)方法有沉降菌法、定量空氣浮游菌采樣法和表面取樣法（如棉簽擦拭法和接觸碟法）等。動(dòng)態(tài)取樣應(yīng)當(dāng)避免對(duì)潔凈區(qū)造成不良影響。成品批記錄的審核應(yīng)當(dāng)包括環(huán)境監(jiān)測(cè)的結(jié)果。對(duì)表面和操作人員的監(jiān)測(cè)，應(yīng)當(dāng)在關(guān)鍵操作完成后進(jìn)行。在正常的生產(chǎn)操作監(jiān)測(cè)外，可在系統(tǒng)驗(yàn)證、清潔或消毒等操作完成后增加微生物監(jiān)測(cè)。

車間應(yīng)用：電子廠凈化工程是潔凈度等級(jí)在10千級(jí)規(guī)范左右的凈化工程生產(chǎn)車間，關(guān)鍵操縱氣體浮塵顆粒對(duì)工作中目標(biāo)的環(huán)境污染，內(nèi)部務(wù)必維持正壓力情況。

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