ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計 SP1

2025/07/07 14:44:01

傳感器單元 SP1 是一種傳感器型皮拉尼真空計，其中集成了測量元件和電路，可節(jié)省成本和空間。

長處

節(jié)省成本和空間的傳感器類型

燈絲材料由鉑制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。

ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計 SP1

2 個設定點輸出，測量元件輸出：DC0~5V（非線性輸出）

電源電壓：DC24V 輸入

用

用于半導體和電子元件等各種制造設備的低真空范圍內(nèi)的過程控制

用于窯爐和其他工業(yè)設備的低真空范圍內(nèi)的過程控制

用于具有許多工藝腔室的各種制造設備（如在線和單晶片）的低真空范圍內(nèi)的過程控制

類型	傳感器單元
型	第 1 頁
自適應測量元件	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
測量精度	±15 %（51 Pa ~760 Pa）
	±30 %（10 帕 ~1000 帕）
	±50 %（0.4 帕 ~3000 帕）
工作溫度范圍	10~40°C
采樣時間	50ms 5 移動平均線處理
測量值輸出	非線性輸出：DC0-5V（* 10V）
	（更新時間） 50 ms
	（分辨率） 10 mV
用于設定點 1/2 調(diào)整的輸出	非線性輸出：DC 0-5V（* 10V）
控制輸出信號	集電極開路，負邏輯
	錯誤信號
	設定點 1/2
LED 指示	功率、錯誤、設定點 1/2
電源電壓	DC24V±2V， 90mA（*）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6 螺絲）
體重	190g （不包括測量元件）
附屬品	1 組 I/O 連接器
附屬品	快速手冊（1 份）

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

優(yōu)惠MVA球閥

優(yōu)惠MVA蝶閥

ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計 SP1

ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計 SP1