千級電子廠廠房潔凈檢測 報告--安衡檢測

目前對于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運行費用的目的。

檢測方法與步驟：1.室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行至少12h；2.根據(jù)溫度和相對濕度波動范圍，應(yīng)選擇相應(yīng)的具有足夠精度的儀表進(jìn)行測定。根據(jù)由低到高的精度，測定 宜連續(xù)進(jìn)行（8~48）h，每次測定間隔不應(yīng)大

電子廠廠房潔凈檢測  潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量；根據(jù)熱濕負(fù)荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。

常規(guī)檢測項目：塵埃粒子、浮游菌、沉降菌、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數(shù)必須做項目：車間混合照度、車間空氣細(xì)菌菌落數(shù)、水質(zhì)38項檢測

空氣浮游菌：1.除受潔凈區(qū)設(shè)備限制外，取樣點應(yīng)在整個潔凈區(qū)均勻布置；2.在日常監(jiān)控時，那些與產(chǎn)品相鄰的區(qū)域，以及可能與產(chǎn)品直接接觸的空氣及設(shè)備附近均應(yīng)考慮增加取樣點和取樣次數(shù)（與產(chǎn)品非接觸區(qū)相比，這些區(qū)域應(yīng)視為關(guān)鍵區(qū)）；人員活動頻繁或人員集中的區(qū)域也應(yīng)被視為關(guān)鍵區(qū)，需加強(qiáng)監(jiān)控。3.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度。4.取樣時，取樣設(shè)備會對氣流產(chǎn)生干擾，因此，動態(tài)測試空氣浮游菌取樣時應(yīng)避免可能對氣流組織的干擾。5.應(yīng)根據(jù)被測區(qū)域的浮游菌控制限度和取樣方式確定采樣量，每一個點一般采樣一次。6.盡量避免在回風(fēng)口附近取樣，而且測試人員應(yīng)站在取樣口的下風(fēng)側(cè)，盡量少走動。

適用場景：潔凈生產(chǎn)用房，空調(diào)冷凍機(jī)房，純水和氣體凈化站，人員、物料凈化用房

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